[发明专利]自组装结构、其制备方法以及包含该结构的制品有效
| 申请号： | 201410455403.5 | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN104678699B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 赵祥浩;G·孙;K·L·伍利;J·W·撒克里;P·特雷福纳斯三世 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司;得克萨斯A&M大学系统 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;C08F293/00 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆蔚 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及自组装结构、其制备方法以及包含该结构的制品。本发明公开了一种光刻胶组合物，其含有接枝嵌段共聚物；溶剂和光致生酸剂；其中所述接枝嵌段共聚物含有第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物；所述第一嵌段聚合物含有主链聚合物和第一接枝聚合物；所述第一接枝聚合物含有包括卤代烃部分或含有硅的部分的表面能降低部分；所述第二嵌段聚合物与所述第一嵌段共价结合；其中所述第二嵌段含有主链聚合物和第二接枝聚合物；所述第二接枝聚合物含有用于进行脱保护反应并改变接枝嵌段共聚物的溶解性的官能团；所述接枝嵌段共聚物具有瓶刷状形态。 | ||
| 搜索关键词： | 组装 结构 制备 方法 以及 包含 制品 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，其包含：/n接枝嵌段共聚物；溶剂和光致生酸剂；/n其中所述接枝嵌段共聚物含有第一嵌段聚合物和第二嵌段聚合物；所述第一嵌段聚合物含有主链聚合物和第一接枝聚合物；所述第一接枝聚合物含有包括卤代烃部分或含有硅的部分的表面能降低部分；所述第二嵌段聚合物与所述第一嵌段聚合物共价结合；其中所述第二嵌段聚合物含有主链聚合物和第二接枝聚合物；所述第二接枝聚合物含有用于进行脱保护反应并改变接枝嵌段共聚物的溶解性的官能团；所述接枝嵌段共聚物具有瓶刷状形态。/n
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