[发明专利]可动态调焦的激光直写式光刻系统有效
| 申请号： | 201410456304.9 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104238285B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 刘玄博;孙明睿;甄万财;李雪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207;G02B7/04 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004 | 代理人： | 朱丽岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统，包括用于产生激光光束的紫外激光器、沿激光光束传输方向依次设置的扩束整形单元、大范围调焦单元、动态调焦单元、X/Y振镜反射单元及f‑theta透镜组单元，所述大范围调焦单元包括沿Z向相对设置的第一反射镜及第二反射镜，所述与第二反射镜可沿Z向相对移动，所述动态调焦单元包括沿X向相对设置的前镜组、后镜组以及电机。本发明实现了X/Y振镜±5.5°范围与工作面X、Y方向上±50mm范围内位置的精确线性对应关系，以及透镜组一定范围内间距改变与激光束焦点Z向±5mm范围的精确对应关系，满足了激光直写式光刻工艺的精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 调焦 激光 直写式 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种可动态调焦的激光直写式光刻系统，其特征在于，包括：用于产生激光光束的紫外激光器、沿激光光束传输方向依次设置的扩束整形单元、大范围调焦单元、动态调焦单元、X/Y振镜反射单元及f‑theta透镜组单元，所述大范围调焦单元包括沿Z向相对设置的第一反射镜及第二反射镜，所述第二反射镜、X/Y振镜反射单元及f‑theta透镜组单元可整体沿Z向相对于第一反射镜在30‑80mm距离范围内移动，所述动态调焦单元包括沿X向相对设置的前镜组、后镜组以及电机，所述前镜组可在电机的驱动下沿X向在相对于后镜组在 50‑60mm距离范围内移动，所述f‑theta透镜组单元的焦距为257mm，入瞳直径为15mm，入射光波长为355nm，视场角为11°，加工面积为100×100mm。
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