[发明专利]超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法无效
| 申请号： | 201410456318.0 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104237989A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 阮昊;卜昌郁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法，包括基板制备、多束脉冲激光并行处理方式和表面光栅结构向石英玻璃衬底转移。该方法在激光光斑辐照的直径范围内，会自发形成周期精度很高的光栅结构，且其光栅结构可以无缝、整齐地随着激光光斑的移动扫描进行大面积自发生长；该方法具有光栅的制作速度高、光栅面积大、高质量和激光诱导自组装的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 超短 脉冲 激光 诱导 组装 特性 进行 大面积 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
一种超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法，其特征在于该方法包括如下步骤：①基板制备：选择钛、钨、锗、锑、碲或其混合物为制备用的功能材料，在石英玻璃衬底上采用真空镀膜方法依次制备反射膜、隔热膜和功能膜；所述的隔热膜采用ZnS、AlN或SiO2膜，所述的反射膜采用目前使用的脉冲压缩光栅的多层介质膜；②脉冲激光对薄膜进行处理，形成表面光栅结构；③用多光束并行对光栅制作材料进行处理；④表面光栅结构向石英玻璃衬底进行转移。
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