[发明专利]一种离子注入机束流与剂量测控装置及剂量控制方法有效
| 申请号： | 201410457041.3 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104332377A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 钟新华;王迪平;易文杰;袁卫华;彭立波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机束流与剂量测控装置及剂量控制方法，测控装置，包括CPU单元，CPU单元与SPI通信接口模块、ADC模块、通道程控开关、档位程控开关、束流/剂量程控开关、剂量积分电路、峰值捕捉电路、波形发生电路连接；所述SPI通信接口模块与所述ADC模块连接；所述ADC模块与所述束流/剂量程控开关连接；所述束流/剂量程控开关与所述峰值捕捉电路、剂量积分电路连接；所述束流/剂量程控开关、峰值捕捉电路、剂量积分电路均与所述档位程控开关连接；所述档位程控开关与所述通道程控开关连接；所述通道程控开关与法拉第杯接入端口连接。本发明能精确测量离子束流与剂量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机束流 剂量 测控 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机束流与剂量测控装置，包括CPU单元；其特征在于，所述CPU单元与SPI通信接口模块、ADC模块、通道程控开关、档位程控开关、束流/剂量程控开关、剂量积分电路、峰值捕捉电路、波形发生电路连接；所述SPI通信接口模块与所述ADC模块连接；所述ADC模块与所述束流/剂量程控开关连接；所述束流/剂量程控开关与所述峰值捕捉电路、剂量积分电路连接；所述束流/剂量程控开关、峰值捕捉电路、剂量积分电路均与所述档位程控开关连接；所述档位程控开关与所述通道程控开关连接；所述通道程控开关与离子注入机的法拉第杯接入端口连接。
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