[发明专利]f‑theta光学镜头有效
| 申请号： | 201410457580.7 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104317034B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 孙明睿;刘金荣;蒲继祖 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004 | 代理人： | 朱丽岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种f‑theta光学镜头，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜。本发明f‑theta光学镜头实现了355nm波长的紫外激光束在X/Y方向0～11°的半视场入射角度范围内角度变化与基片上0～50mm范围内光刻位置的准确线性映射关系，使激光束焦点的定位更精确，能量分布更均匀和集中，满足了光刻工艺的精度要求，且结构紧凑、成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | theta 光学 镜头 | ||
【主权项】：
一种f‑theta光学镜头，其特征在于，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜，该镜头的焦距为257mm，入瞳直径为15mm，入射光波长为355nm，视场角为11º，加工面积为100×100mm；所述第一透镜包括相对的第一曲面及第二曲面，其中，所述第一曲面的曲率半径为‑485mm，所述第二曲面的曲率半径为‑155mm；所述第一透镜的光轴中心厚度为10mm，所述第一透镜的材料为石英玻璃，所述第一透镜的折射率为1.46。
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