[发明专利]利用外部装料结构进行多晶硅装料的控制方法在审
| 申请号： | 201410458934.X | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104250848A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;王巍;倪军夫;孙明;沈兴潮 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供利用外部装料结构进行多晶硅装料的控制方法。该种外部装料结构的主体包括籽晶系统和旋转机构，利用外部装料结构进行多晶硅装料的控制方法，当单晶炉热场为18～24寸，上述各值需要满足以下公式：G1≥G2+G3，G/2≥G2+G3，F≥K(G2+G3)；其中，G为称重传感器的称重范围，G1为钢丝绳的载荷，G2为多晶硅原料的质量，G3为石英坩埚和真空罩的总质量，F为真空表上压力值P产生的压力，K为安全系数。本发明不需增加额外吊装辅助设备，利用了单晶炉固有的籽晶系统和副炉室旋转机构，能有效的实现坩埚炉外装料。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 外部 装料 结构 进行 多晶 控制 方法 | ||
【主权项】：
利用外部装料结构进行多晶硅装料的控制方法，其特征在于，将装有多晶硅原料的石英坩埚吊装到单晶炉热场内时，设称重传感器的称重范围为G，将称重传感器组件看作定滑轮，钢丝绳的载荷为G1，装入多晶硅原料的质量为G2，石英坩埚和真空罩的总质量为G3，真空表上压力值P产生的压力为F(其中P为0.1个大气压)；当单晶炉热场为18～24寸，上述各值需要满足以下公式：G1≥G2+G3，G/2≥G2+G3，F≥K(G2+G3)；K为安全系数，在生产过程中K取5。
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