[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及薄膜晶体管阵列基板的制备方法有效

专利信息
申请号: 201410459799.0 申请日: 2014-09-10
公开(公告)号: CN104485337B 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 柴立;张晓星 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及薄膜晶体管的制备方法。所述薄膜晶体管阵列基板包括:多个第一金属线,相邻的第一金属线之间设置第一间隙;多个第二金属线,相邻的第二金属线之间设置第二间隙,所述第二金属线与所述第一金属线交叉设置以形成多个重叠部;第一绝缘层,层叠设置在所述第一金属线与所述第二金属线之间,用于使所述第一金属线与所述第二金属线之间绝缘;第二绝缘层,覆盖在所述第二金属线上,且与所述第二金属线层叠设置;透明导电膜,覆盖在所述第二绝缘层上。
搜索关键词: 薄膜晶体管 阵列 制备 方法
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,所述薄膜晶体管阵列基板包括用于设置薄膜晶体管阵列的显示区域及围绕所述显示区域设置的走线区域,所述薄膜晶体管阵列基板包括:多个第一金属线,相邻的第一金属线之间设置第一间隙;多个第二金属线,相邻的第二金属线之间设置第二间隙,所述第二金属线与所述第一金属线交叉设置以在所述走线区域内形成多个重叠部;第一绝缘层,层叠设置在所述第一金属线与所述第二金属线之间,用于使所述第一金属线与所述第二金属线之间绝缘;第二绝缘层,覆盖在所述第二金属线上,且与所述第二金属线层叠设置;透明导电膜,贴合地覆盖在所述第二绝缘层上,所述透明导电膜位于所述走线区域内的部分与所述多个重叠部层叠设置且直接接触所述第二绝缘层的远离所述第二金属线的表面。
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