[发明专利]ZrSe3和HfSe3纳米带的制备方法及其在光探测器中的应用无效

专利信息
申请号: 201410460580.2 申请日: 2014-09-04
公开(公告)号: CN104261358A 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 吴兴才;熊维伟;朱俊杰;陈晋强 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: C01B19/04 分类号: C01B19/04;B82Y30/00;H01L31/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种制备ZrSe3和HfSe3纳米带的方法,即将锆粉(或铪粉)与硒粉按照1∶3比例混合,充分研磨混合均匀并装入一端封闭的石英管中,抽真空,火焰封闭另一端。将密封好的石英管水平放入管式炉的中,原料在炉子中间,在550-750℃反应一段时间后,原料全部转化为ZrSe3(或HfSe3)纳米带。然后,将这两种纳米带分别在SiO2/Si基片上加工成单根纳米带的场效应晶体管作为光探测器。这两种光探测器在可见光的波长范围内具有良好的光敏感特性。本发明公开了其材料制备方法和该探测器的制作方法。
搜索关键词: zrse sub hfse 纳米 制备 方法 及其 探测器 中的 应用
【主权项】:
一种制备ZrSe3纳米带的方法:首先将锆粉末与硒粉末按照摩尔比1∶3混合,研磨混合均匀并装入一端封闭的石英管中,抽真空,火焰封管。将密封好的石英管水平放入管式炉中间,在550‑750℃下反应5‑24h,原料全部转化为三硫化锆纳米带。纳米带宽度为20‑500nm,长度为几十纳米。
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