[发明专利]基于四分之一波片法的液晶光学移相分布检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于四分之一波片法的液晶光学移相分布检测系统及方法，对于待测样品上每一点的相位延迟量，运用四分之一波片法获取数据，在1/4波片法检测方法基础上，对数据处理进行了算法改进，从而提出了傅立叶四分之一波片法，通过离散傅立叶算法消除数据中噪声的干扰，准确获取了相位值；该基于四分之一波片法的液晶光学移相分布检测系统包括激光器、待测样品、显微物镜、1/4波片、检偏器与步进电机、电荷耦合元件(CCD)、计算机控制中心。本发明确定了样品的相位延迟量，实现了对二维液晶移相器件进行高精度、高分辨率、快速、自动的检测，提高了检测相控阵相位分布的分辨率和精度。

主权项

一种基于四分之一波片法的液晶光学移相分布检测方法，其特征在于，该基于四分之一波片法的液晶光学移相分布检测方法包括：步骤一，将线偏振激光器、待测样品、显微物镜、1/4波片、中空步进电机旋转台的检偏器、电荷耦合元件架设在共轴光路中；步骤二，将线偏振激光的偏振方向、检偏器的方向相互垂直，其中检偏器检偏方向标定为系统角度的0度位置；步骤三，将1/4波片光轴方向调整在0度或90度，将待测样品的光轴的方向设置在45度或者135度，待测样品与线偏振激光器、1/4波片、检偏器构成了基本的1/4波片法，激光器发出的线偏振光穿过相控阵样品时分解为有一定相位差的寻常光和非寻常光，再经过1/4波片法时转化为一定偏振方向的偏振光，偏振方向的变化角度为相位延迟的1/2，再旋转检偏器再次消光对该线偏振光的偏振方向变化大小进行判定，从而得到相位延迟量；步骤四，调整显微物镜和待测样品的距离，通过电荷耦合元件的图像，调整成像最为清晰；步骤五，通过计算机控制中心控制步进旋转台带动检偏器旋转180度，检偏器每转动一度的同时，电荷耦合元件获取按照相同步进角度获取N帧灰度数据Ii(x,y)，其中i＝(1、2、3、、、N)为检偏器的旋转角度，(x,y)为样品上的点坐标，从而获取了待测样品上每一个点位置对应的N个灰度数据；步骤六，在通过电荷耦合元件获取每一帧数据Ii(x,y)的同时，计算机控制中心进行数据处理。