[发明专利]集成电感电容的电路结构

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种集成电感电容的电路结构。通过本发明的结构能够在生产集成电感电容电路的过程中，同时形成电感和电容，简化了工艺过程，缩小了器件面积，从而降低了成本，并且能够获得同时具有高电感值和高品质因子的电感器件。

主权项

一种集成电感电容的电路结构，其特征在于，包括：第一电容，所述第一电容由若干个内截面逐渐递减的金属框于同一平面内相互嵌套组成，间隔设置的金属框彼此电连接组成第一极板与第二极板；第二电容，所述第二电容由若干个内截面逐渐递减的金属框于同一平面内相互嵌套组成，间隔设置的金属框彼此电连接组成第三极板与第四极板；所述第一电容与第二电容位于同一平面内且互不重叠；电感，所述电感包括若干平面平行分布的第一类金属线和若干平面平行分布的第二类金属线，所述第一类金属线与第二类金属线分别位于所述第一电容与第二电容所在平面的两侧；且所述第一类金属线与第二类金属线的首端均垂直投影于所述第一电容的最内侧金属框内，所述第一类金属线与第二类金属线的末端均垂直投影于所述第二电容的最内侧金属框内；并且，任一所述第一类金属线的首端的垂直投影与对应的第二类金属线的首端的垂直投影重合，任一所述第一类金属线的末端的垂直投影与对应的第二类金属线相邻的第二类金属线的末端的垂直投影重合；所述电感还包括若干金属互连线，所述金属互连线垂直穿过所述第一电容与第二电容的最内侧金属框，连接第一类金属线与对应的第二类金属线的首端，并连接第一类金属线于对应的第二类金属线相邻的第二类金属线的末端。