[发明专利]一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种自加热微流道桥接式纳电极传感器及其制备方法，所述传感器包括桥接式纳米测试敏感单元、微流道取样单元、制热取样单元和测试室单元；所述传感器制备方法将纳米材料分散于聚合物体系形成复合物薄膜，将纳米材料通过薄膜微结构引入微加工体系，之后辅助常规的微加工图形化、可控刻蚀、溅射和微电铸等工艺制备桥接式纳米测试敏感单元，同时使用微加工工艺在桥接式纳米测试敏感单元外围设计微流道取样单元、制热取样单元以及测试室单元，形成桥接式纳电极集成检测微系统——自加热微流道桥接式纳电极传感器。该系统同时具备气态液态样品取样和检测功能，实现了桥接式纳电极传感器与微型化系统的集成制造。

主权项

一种自加热微流道桥接式纳电极传感器，其特征在于，包括：制热取样单元、微流道取样单元、测试室单元、桥接式纳米测试敏感单元，其中：微流道取样单元、制热取样单元、桥接式纳米测试敏感单元、测试室单元均位于基片之上，微流道取样单元和测试室单元相连通，制热取样单元位于微流道取样单元和测试室单元交汇处底部，桥接式纳米测试敏感单元位于测试室单元内；所述桥接式纳米测试敏感单元：由暴露在测试环境中的碳纳米管和实现信号传输的纳微集成电极组成，当目标检测物在碳纳米管表面富集发生物理或化学吸附时，会改变碳纳米管的电化学性质，通过纳微集成电极进行纳米结构的电学性质检测实现敏感物的定性或定量分析，微纳集成电极与外部电路相连，实现测试信号的输出；桥接式纳米测试敏感单元使用植布法制备，形成双端植入中部裸露的桥接式纳米测试敏感单元；所述测试室单元：位于桥接式纳米测试敏感单元外部，为检测物和桥接式纳米测试敏感单元相互作用提供稳定环境，在测试室单元侧壁两端各有一个样品入口，可供气体样品直接进入；所述微流道取样单元：为密封细管状，由液体样品入口和微流道组成，液体样品入口通过微流道与制热取样单元及测试室单元相连通，将液体样品通过毛细作用“输送”至制热取样单元；所述制热取样单元：由加热丝和位于加热丝上部的微流道组成，所述位于加热丝上部的微流道分别与所述微流道取样单元的微流道及测试室单元相连通，通过加热丝加热使液体样品挥发进入测试室单元。