[发明专利]毛细玻璃管表面镀碳膜装置与工艺有效

专利信息
申请号: 201410470320.3 申请日: 2014-09-16
公开(公告)号: CN104195527A 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 王昌;刘素香;王英英;刘小会;赵庆超;马龙 申请(专利权)人: 山东省科学院激光研究所
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46;C23C16/26
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 曲志波
地址: 272073 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置与工艺,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。该镀碳膜装置适用于化学气相沉积方法在毛细玻璃管表面进行碳膜沉积。需镀膜的毛细玻璃管插入准直玻璃管中,其尾部尾纤通过橡胶垫、光纤夹具、光纤固定夹具和螺帽拧紧密封,两个塔形接头装置分别连接真空泵和气体罐。涂覆碳膜的毛细玻璃管可以有效的阻止外界环境中氢离子的腐蚀,提高其使用寿命。
搜索关键词: 玻璃管 表面 镀碳膜 装置 工艺
【主权项】:
一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。
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