[发明专利]毛细玻璃管表面镀碳膜装置与工艺有效
申请号: | 201410470320.3 | 申请日: | 2014-09-16 |
公开(公告)号: | CN104195527A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 王昌;刘素香;王英英;刘小会;赵庆超;马龙 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院激光研究所 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/26 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 曲志波 |
地址: | 272073 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置与工艺,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。该镀碳膜装置适用于化学气相沉积方法在毛细玻璃管表面进行碳膜沉积。需镀膜的毛细玻璃管插入准直玻璃管中,其尾部尾纤通过橡胶垫、光纤夹具、光纤固定夹具和螺帽拧紧密封,两个塔形接头装置分别连接真空泵和气体罐。涂覆碳膜的毛细玻璃管可以有效的阻止外界环境中氢离子的腐蚀,提高其使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 玻璃管 表面 镀碳膜 装置 工艺 | ||
【主权项】:
一种毛细玻璃管表面镀碳膜装置,它包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机和与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体另一侧面设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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