[发明专利]一种平面旋转制备硫化物的装置及方法

摘要

本发明是一种平面旋转制备硫化物的装置及方法。本发明的平面旋转制备硫化物的装置，包括有电机、用于水平放置样品的支架、搅拌装置、水浴反应容器、水浴箱、进出水管道，其中支架与电机的输出轴连接，且支架置于水浴反应容器内，搅拌装置置于水浴反应容器的底部，水浴反应容器置于水浴箱内，水浴箱的侧壁设有进出水管道。本发明的装置结构简单，可批量大规模生产。本发明平面旋转制备硫化物的方法，包括多层衬底水平放置同时沉积技术，溶液的配置，溶液加热，反应沉积，反应溶液温度场分布控制。本发明的装置结构简单，在保证制备薄膜均匀致密的前提下，实现多片衬底同时进行薄膜生长反应。本发明的方法可有效提高生产速率及材料利用率，制备薄膜致密均匀。

主权项

一种平面旋转制备硫化物的装置，其特征在于包括有电机（1）、用于水平放置样品的支架（2）、搅拌装置（3）、水浴反应容器（4）、水浴箱（6）、进出水管道（7），其中支架（2）与电机（1）的输出轴连接，且支架（2）置于水浴反应容器（4）内，搅拌装置（3）置于水浴反应容器（4）的底部，水浴反应容器（4）置于水浴箱（6）内，水浴箱（6）的侧壁设有进出水管道（7）。