[发明专利]一种热壁金属有机物化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种热壁金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备。该设备包括长方形反应室、托盘加热器、天棚加热器、衬底托盘等。本发明区别于常规的MOCVD设备主要在于：本设备不仅有托盘加热器，而且还有天棚加热器。这两个加热器同时给长方形反应室的上下表面进行加热，由两个温度控制器分开控制，既可以使两个加热器的温度一致，也可以使得两个加热器的温度略有差异。用两个加热器同时加热，可以使内部反应室的顶部和底部同时加热，使内部反应室处于“热壁状态”，完全区别于常规MOCVD是“冷壁状态”。本设备特别适合生长氮化镓(GaN)、氮化铝(AIN)材料，尤其适合生产氮化镓发光二极管。

主权项

一种热壁金属有机物化学气相沉积设备，其特征在于：其结构包括长方形反应室(3)、托盘加热器(1)、天棚加热器(2)、衬底托盘(4)；长方形反应室(3)是一个水平反应室；它前端为气体进入口，有2块隔板，分隔成3个气体进入口，中间为MO源入口，上下两个入口为氨气入口；长方形反应室(3)的底部有1个圆孔：为托盘镶嵌孔，其直径略大于衬底托盘(4)的直径；长方形反应室(3)的后端为尾气出口，反应室内产生的尾气从这里排出；衬底托盘(4)的外形为圆形，嵌入长方形反应室(3)底部的托盘镶嵌孔内；托盘加热器(1)固定在衬底托盘(4)下部，天棚加热器(2)固定在长方形反应室(3)的顶部，托盘加热器(1)、天棚加热器(2)分别由两个温度控制器控制。