[发明专利]超级结半导体装置有效
申请号: | 201410471756.4 | 申请日: | 2014-09-16 |
公开(公告)号: | CN104465768B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 赵文秀;崔彰容;权纯琢;全珖延;金大炳;禹赫 | 申请(专利权)人: | 美格纳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 尹淑梅;韩芳 |
地址: | 韩国忠清*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供了一种超级结半导体装置。所述超级结半导体装置包括:单元区和结端子区,设置在基底上;以及过渡区,设置在单元区和结端子区之间,单元区、结端子区和过渡区均包括一个或更多个单个单元,单个单元包括在单元区和结端子区之间交替的多个N型柱区和多个P型柱区中的一个N型柱区和一个P型柱区。 | ||
搜索关键词: | 超级 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种超级结半导体装置,所述超级结半导体装置包括:单元区和结端子区,设置在基底上;以及过渡区,设置在单元区和结端子区之间,其中,单元区、结端子区和过渡区均包括至少一个单个单元,所述单个单元包括N型柱区和与之相邻的P型柱区,其中,单个单元设置为邻近于彼此使得对应的N型柱区和P型柱区在单元区、结端子区和过渡区中交替,并且其中,在过渡区中的单个单元的平均宽度比在单元区和结端子区中的单个单元的平均宽度小。
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