[发明专利]一种可贴附柔性压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 201410471871.1 | 申请日: | 2014-09-16 |
公开(公告)号: | CN104257367A | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 张珽;熊作平 | 申请(专利权)人: | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
主分类号: | A61B5/0205 | 分类号: | A61B5/0205;A61B5/11 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 215123 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种可贴附柔性压力传感器,其特征在于,包括:柔性衬底、敏感层、电极层和柔性保护层,所述敏感层形成于柔性衬底表面且具有三维孔状结构,所述电极层包括至少两条电极,所述电极从敏感层表面引出,所述柔性保护层形成于敏感层表面和电极层位于敏感层表面的部分。本发明还公开了一种可贴附柔性压力传感器的制备方法。本发明的方法具有原料廉价、工艺简单、操作方便和适合大规模工业化生产的优点,本发明的敏感层具有三维孔状结构,实现材料中气-固两相的存在,具有较高的灵敏度;本发明的传感器轻薄柔软,可以被加工成多种形状,具有可穿戴、可贴附的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 可贴附 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种可贴附柔性压力传感器,其特征在于,包括:柔性衬底(4)、敏感层(3)、电极层(2)和柔性保护层(1),所述敏感层(3)形成于柔性衬底(4)表面且具有三维孔状结构,所述电极层(2)包括至少两条电极,所述电极从敏感层(3)表面引出,所述柔性保护层(1)形成于敏感层(3)表面和电极层(2)位于敏感层(3)表面的部分。
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