[发明专利]一种测量扫描电子显微镜电子束斑尺寸的方法

摘要

该发明一种测量扫描电子显微镜电子束斑尺寸的方法，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束斑尺寸的测量方法。首先通过扫描电子显微镜照射放置于法拉第杯杯口上的金属刀片，得到清晰的金属刀片图像；然后截取部分刀口边缘的图像，采用图像数据处理软件获取截取图像的RGB值，得到R、G、B三个灰度矩阵；再求出这三个矩阵的平均值，得到一个平均矩阵；将平均矩阵的每一列求和，得到一个一维矩阵，按照该一维矩阵各单元的数值绘制成二维曲线，该曲线上升沿的宽度即为电子束的束斑直径，从而实现发明目的。从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。

主权项

一种测量扫描电子显微镜电子束斑尺寸的方法，该方法包括：步骤1：将一宽度小于法拉第杯直径的长方形金属薄片设置于法拉第杯的杯口，保证两者有良好的电接触，将法拉第杯放置于扫描电子显微镜的样品室，同时保证长方形金属薄片的一边与电子显微镜扫描方向垂直，开启扫描电子显微镜，得到一张清晰的长方形金属薄片的电子显微图像；步骤2：选取长方形金属薄片与电子显微镜扫描方向垂直的一条边缘，截取该边缘部分图像，截取图像中包含该边缘沿电子显微镜扫描方向全部灰度变化过程；步骤3：使用数据处理软件读取截取图片的RGB值，分别得到R、G、B三个二维灰度值矩阵；步骤4：将步骤3中得到的三个矩阵求平均，得到一个平均矩阵，再对该平均矩阵的每一列求和，最后得到一个一维灰度值矩阵；步骤5：根据步骤4得到的一维矩阵各元素数值绘制成二维曲线，曲线高度表示数值大小，定义该曲线为电子束积分曲线，该积分曲线的上升沿宽度即为电子束的束斑直径。