[发明专利]一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法和装置有效

专利信息
申请号: 201410475472.2 申请日: 2014-09-17
公开(公告)号: CN105480980B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 郭增昌;刘兴平;吕学谦 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;邓伯英
地址: 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 发明公开了一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法和装置,该方法包括以下步骤:将三氯氢硅生产得到的渣浆过滤,所述过滤得到的液态物质为液态氯硅烷,所述过滤得到浓渣浆;所述浓渣浆再经过雾化处理,再过滤得到气态物质,该气态物质冷凝得到液态氯硅烷,所述再过滤得到的固态物质为滤渣。该方法渣浆处理后得到的液态氯硅烷中不含有氯化铝,避免了处理过程使用碱液造成的碱液和氯硅烷的浪费以及产生二次污染,避免了现有技术三氯氢硅生产得到的渣浆处理中水解产生易燃易爆气体的安全隐患,本发明中的处理方法简单,氯硅烷的回收率达到了98%以上,更加完善了多晶硅生产工艺,节能降耗效果可观,且处理成本大大降低。
搜索关键词: 三氯氢硅生产 渣浆处理 液态氯硅烷 过滤 方法和装置 气态物质 氯硅烷 浓渣浆 碱液 易燃易爆气体 多晶硅生产 安全隐患 二次污染 固态物质 节能降耗 雾化处理 液态物质 渣浆过滤 氯化铝 冷凝 滤渣 水解 回收率
【主权项】:
一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法,其特征在于,包括以下步骤:将三氯氢硅生产得到的渣浆过滤,所述过滤得到的液态物质为液态氯硅烷,所述过滤得到浓渣浆;所述浓渣浆再经过雾化处理,使得雾化的浓渣浆中的氯硅烷充分气化和其他的固含物充分干燥,再过滤得到气态物质,该气态物质冷凝得到液态氯硅烷,所述再过滤得到的固态物质为滤渣;所述雾化处理的压力为0.35~0.55MPa,所述雾化处理的温度为75℃~90℃。
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