[发明专利]一种二硝基二苯胺重氮树脂、含有该树脂的光刻胶组合物及其制备方法

摘要

本发明涉及一种二硝基二苯胺重氮树脂、含有上述重氮树脂的光刻胶组合物及其制备方法，所述组合物由包括4-6重量份的成膜树脂、10-15重量份的重氮树脂、0.1-1重量份的背景染料的原料在200-300重量份的有机溶剂中溶解形成。该二硝基二苯胺重氮树脂作为感光剂，运用于LCD负性光刻胶中，抗干法刻蚀能力强，分辨率高，能够提高光刻胶与膜层的附着力，显影过程中光刻胶不脱落，省去使用增粘剂HMDS的工艺过程。

主权项

一种重氮树脂，其特征在于，其结构式如下式所示：其中，n为2以上的整数；R^‑为六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、对甲苯磺酸根、均三甲苯磺酸根或萘磺酸根阴离子；W为CH₂或X为氢、甲氧基或甲基；Y为硝基；Z为甲基或乙基。