[发明专利]一种高效率柔性薄膜太阳能电池

摘要

本发明公开一种高效率柔性薄膜太阳能电池，减薄的外延衬底一侧设置背电极，背电极键合在柔性薄膜衬底上；减薄的外延衬底另一侧设置外延结构，外延结构上设置欧姆接触层，欧姆接触层上设置正面栅线电极，且选择性腐蚀欧姆接触层，腐蚀区域设置减反射膜。本发明转换效率高、可靠性好，且柔性较好而减轻重量。

主权项

一种高效率柔性薄膜太阳能电池，其特征在于：在外延衬底一侧生长外延结构，在外延结构上生长欧姆接触层，在欧姆接触层上生长外延保护层，将外延保护层粘接至刚性支撑模板上，采用外延衬底减薄工艺将外延衬底减薄，在减薄后的外延衬底另一侧蒸镀背电极，背电极键合在柔性薄膜衬底上；去除刚性支撑模板及外延保护层，在欧姆接触层上蒸镀正面栅线电极，并通过选择性腐蚀工艺去除吸光部分的欧姆接触层，在腐蚀区域蒸镀减反射膜；外延衬底为Ge衬底或GaAs衬底。