[发明专利]一种高效率柔性薄膜太阳能电池制造方法

摘要

本发明公开一种高效率柔性薄膜太阳能电池制造方法，提供外延衬底；在外延衬底上生长外延结构；在外延结构上生长欧姆接触层，在欧姆接触层上生长外延保护层；将外延保护层粘接至刚性支撑模板上；采用外延衬底减薄工艺将外延衬底减薄；在减薄后的外延衬底上蒸镀背电极，并键合在柔性薄膜衬底上；去除刚性支撑模板及外延保护层；在欧姆接触层上蒸镀正面栅线电极，并通过选择性腐蚀工艺去除吸光部分的欧姆接触层，在腐蚀区域蒸镀减反射膜，裂片处理即得。本发明制造的太阳能电池转换效率高、可靠性好，且柔性较好而减轻重量。

主权项

一种高效率柔性薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，提供外延衬底；步骤二，在外延衬底上生长外延结构；步骤三，在外延结构上生长欧姆接触层，在欧姆接触层上生长外延保护层；步骤四，将外延保护层粘接至刚性支撑模板上；步骤五，采用外延衬底减薄工艺将外延衬底减薄；步骤六，在减薄后的外延衬底上蒸镀背电极，并键合在柔性薄膜衬底上；步骤七，去除刚性支撑模板及外延保护层；步骤八、在欧姆接触层上蒸镀正面栅线电极，并通过选择性腐蚀工艺去除吸光部分的欧姆接触层，在腐蚀区域蒸镀减反射膜，裂片处理即得。