[发明专利]光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201410478878.6 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104460232B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杉原昌子;河村麻贵;合田真衣子 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 牛海军<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有酸不稳定基团的树脂；酸生成剂；具有硫醚键和巯基的化合物；和溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：/n具有由式(2)表示的基团的树脂：/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410478878.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
