[发明专利]一种人工关节臼杯、磁控溅射镀膜装置及其制备方法

摘要

本发明提出在低温磁控溅射镀膜设备基础上，对现有设备进一步改造、升级，并从材料体系入手，在高分子聚乙烯臼杯上构建新的材料体系及其制备方法，解决膜与基体结合力差的问题，同时，以低温磁控溅射技术解决了高分子聚乙烯易氧化、碳化问题。在此基础上，利用类石墨结构膜的超润滑性和类金刚结构膜结构的超硬度，构建一种类石墨膜和类金刚石膜的交替镀覆的纳米多层结构膜。提升了高分子聚乙烯臼杯的耐磨性，遏制了蠕变导致的关节精度偏差，构建出硬度高、耐摩擦磨损、有自润滑功能的超耐磨纳米多层结构膜的新型人工髋关节臼杯。

主权项

一种人工关节臼杯，包括有基体和镀覆于基体上的纳米多层膜；其特征在于：所述纳米多层膜包括有与基体交联的纯Ti底层、纯Ti底层之上的Ti和TiC过渡层、Ti和TiC过渡层上的复合层以及所述复合层上的纯碳膜层；所述复合层为类石墨与类金刚石单层膜交替沉积组成的纳米多层结构；从底层向复合层方向上，所述Ti和TiC过渡层中的Ti的质量百分比逐渐减小、C的质量百分比逐渐增大。