[发明专利]一种检测高纯气体中气溶胶的方法及装置无效
申请号: | 201410485633.6 | 申请日: | 2014-09-23 |
公开(公告)号: | CN104198439A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 何兴道;夏如孝;吴涛;葛洋;李翔 | 申请(专利权)人: | 南昌航空大学 |
主分类号: | G01N21/51 | 分类号: | G01N21/51 |
代理公司: | 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人: | 欧阳沁 |
地址: | 330063 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种检测高纯气体中气溶胶的方法及装置。该方法根据高纯气体瑞利-米散射频谱中是否存在米散射峰判断气体中是否存在气溶胶,根据米散射峰的强度判断气溶胶的浓度。其装置主要包括激光器、凸透镜、气体散射池、光学准直及滤波系统、鉴频装置、光电探测器、数据采集卡和计算机。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 高纯 气体 中气 溶胶 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种检测高纯气体中气溶胶的方法,其特征在于:根据高纯气体瑞利‑米散射频谱中是否存在米散射峰判断气体中是否存在气溶胶,当高纯气体中不存在气溶胶时,其散射频谱中不存在米散射峰,当高纯气体中存在气溶胶时,其散射频谱中存在米散射峰;根据米散射峰的强度判断气溶胶的浓度。
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