[发明专利]蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀速度计算方法有效
| 申请号： | 201410487690.8 | 申请日： | 2014-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN104775095B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 崔熙德 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀速度计算方法。根据本发明的蒸镀装置包括：真空腔室，在内部气化蒸镀物以将该蒸镀物蒸镀到基板上；泵浦光源，向被气化的蒸镀物照射第一偏光，以使被气化的蒸镀物极化，且使被极化的蒸镀物沿预定方向形成电场；以及蒸镀速度计算单元，测量电场的强度以算出蒸镀物的蒸镀速度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 利用 速度 计算方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，包括：蒸镀源，使蒸镀物气化；真空腔室，提供内部空间，以使被气化的所述蒸镀物蒸镀到基板上；泵浦光源，向被气化的所述蒸镀物照射第一偏光，以使被气化的所述蒸镀物极化，从而使被气化的所述蒸镀物沿预定方向形成电场；以及蒸镀速度计算单元，测量所述电场的强度以算出所述蒸镀物的蒸镀速度，其中，所述蒸镀速度计算单元包括：光照射部，向被极化的所述蒸镀物照射第二偏光；光接收部，从被极化的所述蒸镀物接收第三偏光，并测量所接收的所述第三偏光的偏振状态；以及计算部，从所述第三偏光的偏振状态测量所述电场的强度，算出所述蒸镀物的蒸镀速度，所述第三偏光是振动方向因被极化的所述蒸镀物的所述电场的所述方向而变形的第二偏光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410487690.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
