[发明专利]一种表面波等离子体设备在审
| 申请号： | 201410489693.5 | 申请日： | 2014-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN105430862A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种表面波等离子体设备，其包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波；微波传输装置包括波导和微波天线，微波天线被划分为多个子天线，且每个子天线对应反应腔室的不同区域，波导的数量和子天线的数量相等且二者一一对应相连，微波产生装置产生的微波经由各个波导和与该波导对应的子天线耦合至反应腔室的不同区域；并且通过分别调节耦合至反应腔室不同区域的微波功率，以实现在反应腔室内基片上方形成均匀的大面积表面波等离子体。本发明提供的表面波等离子体设备，可以实现在不同工艺条件下基片上方形成均匀的大面积表面波等离子体，进而可以提高工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
一种表面波等离子体设备，其包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，所述微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波；所述微波传输装置包括波导和微波天线，其特征在于，所述微波天线被划分为多个子天线，且每个所述子天线对应所述反应腔室的不同区域，所述波导的数量和所述子天线的数量相等且二者一一对应相连，所述微波产生装置产生的微波经由各个所述波导和与该波导对应的所述子天线耦合至所述反应腔室的不同区域；并且通过分别调节耦合至所述反应腔室不同区域的微波功率，以实现在反应腔室内基片上方形成均匀的大面积表面波等离子体。
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