[发明专利]一种探针卡清针装置

摘要

一种探针卡清针装置，包括清洗机构和探针清洗液的循环机构，清洗机构包括喷管、滑块、中空夹板和支架，循环机构至少包括收集槽、泵、连接管和软管，循环机构内的探针清洗液通过喷管喷出以冲洗探针上的污染物，喷管固定在滑块上，喷管在中空夹板的通孔范围内可自由移动，冲洗探针污染物后的探针清洗液通过收集槽进入到循环机构实现循环利用；该探针卡清针装置，不但能利用带压力的清洗液对探针针壁和针尖上的污染物进行有效的清洁，还能减少对针尖的磨损，以减少对针尖穿透力的影响，从而稳定和提高芯片测试的准确性。

主权项

一种探针卡清针装置，其特征在于，包括：清洗机构，所述清洗机构包括喷管、滑块、中空夹板和支架，所述滑块置于所述中空夹板内，所述中空夹板设有垂直通孔，所述喷管穿过所述中空夹板的所述通孔，并穿接所述滑块，所述中空夹板通过所述支架固定安装；所述喷管活动设置，其横向移动区间受所述通孔的口径限制，纵向移动区间受所述滑块在所述中空夹板内的纵向移动高度限制；清洗液循环机构，所述循环机构至少包括收集槽、泵、连接管和软管，所述泵的一端通过所述软管与所述喷管相连，另一端通过所述连接管与所述收集槽相连；所述喷管可朝向所述收集槽喷射清洗液，对所述收集槽上放置的所述探针卡的针卡进行移动清洗的清针处理；所述泵可将所述收集槽收集的清洗液泵向所述喷管，并形成循环。