[发明专利]扩散头装置和气体分布方法

摘要

本发明提供了一种形成具有改进的层厚度均匀性的薄膜太阳能电池的顶部接触层的装置和方法。该装置包括用于将工艺气体引入室内的扩散头。该扩散头包括具有多个开口的扩散板，每个开口均具有第一圆柱形部分和第二圆锥台部分。本发明还提供了扩散头装置和气体分布方法。

主权项

一种形成薄膜太阳能电池的方法，包括：在室中提供包括衬底、背面接触层、吸收层和缓冲层的部分制造的薄膜太阳能电池；以及通过具有配置成蜂巢状图案的多个开口的扩散板将工艺气体引入至所述室内，以在所述缓冲层上方形成顶部接触层，其中，所述多个开口中的每个均包括圆锥台部分。