[发明专利]LED衬底结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201410493639.8 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104201270B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 丁海生;马新刚;李东昇;李芳芳;江忠永 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种LED衬底结构及其制作方法，通过增透减反结构增加光的透射，从而能够增加LED的出光效率。进一步的，通过将增透减反结构形状设计为纵截面为倒梯形，使得LED在提高发光亮度的同时，增加轴向发光亮度。此外，通过图形互补原理，利用常规沉积、光刻、蚀刻设备将增透减反结构制作在平衬底上，工艺简单、成本低廉、适于大规模商业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | led 衬底 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种LED衬底结构的制作方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成第一光刻胶；对所述第一光刻胶执行光刻工艺，在所述衬底上形成呈周期性排布的多个光刻胶图形；在每相邻两个光刻胶图形之间形成由透射材料形成的增透减反结构，以增加光的透射减少光的反射，所述增透减反结构的纵截面的上边长度大于下边长度；去除所述多个光刻胶图形；其中，在每相邻两个光刻胶图形之间形成由透射材料形成的增透减反结构包括：形成由透射材料形成的透射材料层，所述透射材料层覆盖多个光刻胶图形及每相邻两个光刻胶图形之间的衬底；在所述透射材料层表面形成一层第二光刻胶；刻蚀所述第二光刻胶，直至部分透射材料层露出；同比刻蚀所述第二光刻胶及透射材料层，直至第二光刻胶完全消除；刻蚀部分透射材料层，直至所述多个光刻胶图形的表面露出。
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