[发明专利]一种带有渐变式DBR层的蓝光LED外延结构

摘要

本发明公开了一种带有渐变式DBR层的蓝光LED外延结构，涉及LED技术领域。其结构由下至上依次为：蓝宝石衬底，低温GaN缓冲层，渐变式布拉格反射层(DBR)，n型GaN层，多量子阱发光层，p型AlGaN，p型GaN接触层。本发明的优点是：在蓝光LED外延结构中生长渐变式DBR，提高外延片出光效率。采用渐变式DBR可以反射有源区向下射向衬底的光，使其光路改变向顶部射出。渐变式DBR既能反射小角度入射光又能反射大角度入射光，进而提高发光二极管器件的亮度。该外延结构制备工艺简单、易于实施，便于推广应用。

主权项

一种带有渐变式DBR结构的蓝光LED外延结构，其特征在于：所述结构由下至上依次为：衬底，低温GaN缓冲层，分布布拉格反射层(DBR)，n型GaN层，多量子阱发光层，p型AlGaN，p型GaN接触层；所述分布布拉格反射层是渐变式布拉格反射器(DBR)结构。