[发明专利]一种金属镀层厚度自动控制装置

摘要

本发明公开了一种金属镀层厚度自动控制装置，包括铝蒸发槽、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极、设于固定电极上的蒸发舟、蒸发舟连接的活动电极；所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器。该金属镀层厚度自动控制装置能够根据镀膜镀层的要求而自动设定镀层厚度并进行检测，当检测镀层厚度出现不合格时，能自动调节蒸发舟的功率使其镀层厚度达到一致并重新检测直至符合要求为止，保证镀层厚度的一致。

主权项

一种金属镀层厚度自动控制装置，其特征在于，包括铝蒸发槽、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极、设于固定电极上的蒸发舟、蒸发舟连接的活动电极；所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器；所述的镀层厚度自动控制器由启动单元、与启动单元连接并设定薄膜镀层厚度的镀层厚度设定单元、与镀层厚度设定单元连接并在线检测镀层厚度的在线检测单元、与在线监测单元连接并接收在线监测单元检测合格信号的循环工作执行单元、循环工作执行单元分别连接有结束停止单元和镀层厚度设定单元并反馈信号至镀层厚度设定单元循环工作；所述的在线检测单元还连接有接收在线检测单元发出不合格信号并可调节蒸发舟功率的蒸发舟功率调节单元，蒸发舟功率调节单元循环连接在线检测单元并传达重新检测信号至在线检测单元。