[发明专利]一种真空式氦检设备及其方法

摘要

本发明公开了一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，该罩壳为铝合金框架构成的密封结构，且抽真空单元设置有真空泵机组，检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；阀门包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口；该方法主要利用气体分析仪检测制品内空气中氦气的含量，从而判断制品是否泄露。通过采用上述技术方案和方法，即在原有氦检设备的基础上进行了一定的改进，并利用特定的方法进行氦检，从而具备了密封要求低、测试精度高、检测步骤少、占地面积小、成本低、检测效率高以及可自动化推进等优点。

主权项

一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，其特征在于，所述罩壳为铝合金框架构成的密封结构，所述抽真空单元设置有真空泵机组，所述检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；所述阀门包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，所述第一流道口通过无缝钢管与罩壳相连通，所述第二流道口通过无缝钢管与真空泵机组相连通，所述第三流道口通过无缝钢管与气体分析仪相连通；所述第二流道口与真空泵机组之间的无缝钢管上设置有真空检测装置。