[发明专利]线缆表面涂层连续镀膜装置及方法

摘要

本发明公开了一种线缆表面涂层连续镀膜装置及方法，该镀膜装置包括真空室、预抽室、卷放装置和卷收装置，预抽室包括分别设置在真空室上、下游的上、下游预抽室，在与卷放装置相邻的上游预抽室的前端设有线缆入口，在与卷收装置相邻的下游预抽室的后端设有线缆出口；镀膜装置工作时，待涂覆的线缆由卷放装置释放出并通过线缆入口和挡板上的开口进入预抽室和真空室，线缆在真空室内时，涂层材料在线缆表面聚合而形成涂层，已形成有镀膜的线缆通过开口和线缆出口离开真空室和预抽室，并被卷收装置接纳。本发明使得Parylene材料涂覆由间歇式单炉沉积改为连续式沉积，大大提高了镀膜效率。

主权项

一种线缆表面涂层连续镀膜装置，其特征在于，所述线缆表面涂层连续镀膜装置包括：真空室，所述真空室设有用于接收涂层材料的原料入口，且所述真空室设有与真空泵相连的抽气口；预抽室，所述预抽室包括设置在真空室上游的上游预抽室和设置在真空室下游的下游预抽室，所述上游预抽室和下游预抽室可分别包括一级或多级预抽室，所述预抽室均设有与真空泵相连的预抽口，相邻的真空室和预抽室之间以及相邻的两个预抽室之间设有挡板且所述挡板上设有供线缆通过的开口；和卷放装置和卷收装置，所述卷放装置设置在所述上游预抽室的上游，所述卷收装置设置在所述下游预抽室的下游，在与所述卷放装置相邻的上游预抽室的前端设有线缆入口，在与所述卷收装置相邻的下游预抽室的后端设有线缆出口；其中，所述真空室的上、下游皆设置了两级预抽室，所述真空室的两端分别与第二级上游预抽室、第二级下游预抽室的一端相连，所述第二级上游预抽室、第二级下游预抽室的另一端分别与第一级上游预抽室、第一级下游预抽室相连，且所述真空室内的气压保持在10Pa～30Pa之间，所述第二级预抽室内的气压在30Pa～200Pa之间，所述第一级预抽室内的气压保持在200Pa～1200Pa之间；所述镀膜装置工作时，待涂覆的线缆由所述卷放装置释放出并通过所述线缆入口和所述挡板上的开口进入所述预抽室和所述真空室，所述线缆在所述真空室内时，所述涂层材料在所述线缆表面聚合而形成涂层，已形成有镀膜的线缆通过所述开口和所述线缆出口离开所述真空室和预抽室，并被所述卷收装置接纳；所述挡板的开口以及所述线缆入口和所述线缆出口设有动密封结构，所述动密封结构包括密封座、密封螺母和密封垫，所述密封座固定安装在所述挡板上，所述密封螺母与所述密封座配合，且在密封螺母与密封座之间设有密封垫，所述密封垫由橡胶材料制成，所述密封座和密封垫都设有尺寸与所述线缆的直径相匹配的孔，所述密封垫的孔的直径小于所述线缆的直径，所述线缆通过所述动密封结构的孔而穿过所述挡板，以及所述动密封 结构设有与所述线缆接触的光滑的表面；其中，所述涂层材料为聚对二甲苯聚合物，所述线缆为数百米至数千米的硅橡胶电缆，以及所述线缆的走线速度不超过60～200m/h，所述线缆表面的涂层的沉积速率为10～30um/h。