[发明专利]原位微纳米压痕/划痕测试仪

摘要

本发明涉及一种原位微纳米压痕/划痕测试仪，属于机电一体化精密科学仪器领域。伺服电机输出动力，通过涡轮蜗杆减速增扭后带动丝杠，由丝杠带动导轨滑块、连接板，实现柔性铰链、精密定位平台、载物台的横向运动，完成划痕实验，由精密运动平台带动连接板，从而带动安装在连接板上面的柔性铰链机构和载物台，实现载物台的粗进给；压电叠堆驱动柔性铰链实现载物台精密进给，完成压痕实验。激光位移传感器的精密定位由精密定位平台实现。压头的高度通过二维微位移平台调整。优点在于：结构新颖、紧凑，可靠性高、精度高。利用激光位移传感器进行位移的测量，具有量程宽、精度高、安装方便等特点，可以通过手动二维微位移平台进行调节，定位准确。

主权项

一种原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：压电叠堆（9）安装在柔性铰链（10）内部凹槽中，通过压电叠堆（9）驱动柔性铰链（10），进而带动载物台（13）实现精密进给完成压痕实验；柔性铰链（10）紧固在连接板a（6）上，所述连接板a（6）安装在精密定位平台a（23）上，通过手柄a（7）带动连接板a（6）从而实现载物台（13）的粗进给；激光位移传感器（22）安装在精密定位平台b（20）上，激光位移传感器（22）通过挡板（5）实现对载物台（13）的位移检测，精密定位平台b（20）紧固在底座（18）上，手柄b（19）、手柄c（21）带动精密定位平台b（20）实现激光位移传感器（22）的微调；精密定位平台a（23）安装在连接板b（8）上，伺服电机（1）驱动涡轮（2）带动蜗杆（3），蜗杆（3）通过紧固螺钉（4）与丝杠（12）连接，丝杠（12）与连接板b（8）相连，伺服电机 （1）安装在底座（18）上，由伺服电机 （1）带动精密导轨滑块（11）进而带动连接板b（8）从而实现载物台（13）横向进给，完成划痕实验。