[发明专利]滚动灰度光刻的DMD动作方法有效
| 申请号： | 201410508288.3 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN104298077A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 许家林;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于滚动灰度光刻的DMD动作方法，使用DMD多个微镜对光刻胶的单个像素进行曝光，DMD相对于光刻胶相对运动和曝光动作同时进行。本发明公开了DMD的具体动作的时序，DMD动作的微镜状态编码方法，DMD状态寄存器的存储RAM的更新方法，数据获取方法和大小。本发明的滚动灰度光刻的DMD动作方法使得光刻机能够连续光刻，并且刻蚀的图案是8位灰度图案。 | ||
| 搜索关键词： | 滚动 灰度 光刻 dmd 动作 方法 | ||
【主权项】：
一种滚动灰度光刻的DMD动作方法，其特征在于，包括以下步骤： 在光刻过程中，DMD相对于光刻胶每移动一列，微镜状态存储RAM中只增加一行新的数据，并且其他的数据只做移动； 使用DMD的255个像素对光刻胶的一个像素进行255次曝光来实现256级灰度；每次曝光的时间长度相等。
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