[发明专利]一种高低压真空分配方法及高低压真空分配管结构

摘要

本发明公开了一种高低压真空分配管结构，包括高压真空管和低压真空管，其还包括设有多个相互分离的通孔的转子块和定子块，转子块和定子块同心设置，实现连通或截断；所述高压真空管和低压真空管同心设置。本发明还公开了利用上述分配管的方法。本发明由于采用高低压真空管包覆的方式，因而可节省真空管的总体占用空间；设置多一较厚的压转盘块，在其内部分上下层通过真空管通道接入内管与外管并密封，可提高两真空管的辨析度以及防止因两者出口相距过近而受压强影响较大；利用独立的通道而连通两真空管的出口以及压转盘块上表面，更好地分配真空空间。

主权项

一种高低压真空分配管结构，包括高压真空管和低压真空管，其特征在于：还包括设有多个相互分离的通孔的转子块和定子块，转子块和定子块同心设置且相互转动，实现连通或截断；所述高压真空管和低压真空管同心设置，高压真空管和低压真空管分别设有一真空入口和真空出口。