[发明专利]龙门式设备和控制方法

摘要

本发明提供了一种龙门式设备和控制方法，包括支撑装置、通过龙门架连接装置设于支撑装置上的龙门架本体、置于龙门架本体上的第一传感单元、第二传感单元和扫描振镜、置于支撑装置上的第三传感单元、位于扫描振镜与龙门架本体之间用于支撑扫描振镜垂向移动的垂向执行器。本发明的有益效果为所述龙门架本体和龙门架连接装置组合起来实现龙门架本体的水平向移动和垂向移动，提供了多元化的选择；根据第一传感单元、第二传感单元和第三传感单元的测量值获得扫描振镜高度测量传感器的垂向设定值，然后移动扫描振镜，从而将扫描振镜的最佳焦点调到目标点，降低了控制难度，节约了生产成本。

主权项

一种龙门式设备，其特征在于，所述龙门式设备包括：支撑装置，用于承载基底；龙门架本体和龙门架连接装置，所述龙门架本体通过龙门架连接装置设于所述支撑装置上；扫描振镜，置于所述龙门架本体上；光源，用于向所述扫描振镜发射光束，扫描振镜驱动所述光束按照预定轨迹扫描；第三传感单元，置于所述支撑装置上，所述光束经过扫描振镜照射至第三传感单元上形成光斑，第三传感单元测量所述光斑大小和光强；第一传感单元，置于所述龙门架本体上，用于测量基底上目标点高度和第三传感单元的表面高度，根据所述光斑大小和光强以及第三传感单元的表面高度，确定所述扫描振镜的最佳焦点位置；第二传感单元，置于所述龙门架本体上，用于测量扫描振镜的最佳焦点与龙门架本体的相对高度；垂向执行器，位于所述扫描振镜与龙门架本体之间，用于支撑所述扫描振镜垂向移动，从而将扫描振镜的最佳焦点调节到所述基底上目标点。