[发明专利]显示装置及其制造方法

摘要

显示装置及其制造方法。一种公开的显示装置包括第一氧化物半导体层和氧化物半导体连接线，这二者均由基板上的氧化物半导体材料层形成。所述氧化物半导体连接线一体地连接至所述第一氧化物半导体层并且具有比所述第一氧化物半导体层低的薄层电阻。所述显示装置还包括所述第一氧化物半导体层上或者所述第一氧化物半导体层与所述基板之间的第一栅极。所述显示装置还包括所述第一氧化物半导体层与所述第一栅极之间的第一栅绝缘层。

主权项

1.一种显示装置，该显示装置包括：基板上的第一氧化物半导体层，该第一氧化物半导体层是所述基板上的氧化物半导体材料层的第一部分；所述基板上的氧化物半导体连接线，其中，所述氧化物半导体连接线由所述氧化物半导体材料层的第二部分形成，所述氧化物半导体连接线一体地连接至所述第一氧化物半导体层，并且具有比所述第一氧化物半导体层低的薄层电阻；所述第一氧化物半导体层上的第一栅极；所述第一氧化物半导体层与所述第一栅极之间的第一栅绝缘层，其中，所述第一栅绝缘层具有与所述第一栅极相同的宽度；层间绝缘层，该层间绝缘层在所述氧化物半导体连接线和所述第一栅极上方并且具有在所述氧化物半导体连接线之上的接触孔；以及导电层，该导电层在所述层间绝缘层上并且通过所述接触孔连接至所述氧化物半导体连接线。