[发明专利]针对隔膜压力传感器的跨度线压效应补偿有效
申请号: | 201410514946.X | 申请日: | 2014-09-29 |
公开(公告)号: | CN104949794B | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 查尔斯·雷·威尔科克斯 | 申请(专利权)人: | 罗斯蒙特公司 |
主分类号: | G01L13/06 | 分类号: | G01L13/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 潘剑颖 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于感测过程流体的差压的差压传感器,包括传感器主体,其中形成有具有空腔轮廓的传感器空腔。所述传感器空腔中的隔膜响应于所施加的差压而弯曲。所述隔膜具有隔膜轮廓。在所述空腔轮廓和所述隔膜轮廓之间形成的间隙根据所述差压而改变。所述空腔轮廓和所述隔膜轮廓中至少一个根据线压而改变,以补偿由于源于所述线压的所述传感器主体的形变而造成的所述间隙的改变。 | ||
搜索关键词: | 针对 隔膜 压力传感器 跨度 效应 补偿 | ||
【主权项】:
一种用于感测过程流体的差压的差压传感器,包括:传感器主体,其中形成有具有空腔轮廓的传感器空腔;以及所述传感器空腔中的隔膜,被配置为响应于所施加的差压而弯曲,所述隔膜具有隔膜轮廓,其中,在所述空腔轮廓和所述隔膜轮廓之间形成的间隙根据所述差压而改变;其中,所述空腔轮廓和所述隔膜轮廓中至少一个根据线压而改变,所述空腔轮廓和所述隔膜轮廓中的所述至少一个改变以补偿由于所述线压而导致的所述传感器主体的径向形变所导致的所述间隙的改变,从而减小由于所述线压而导致的差压测量中的误差。
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