[发明专利]一种铟柱倒焊互连的方法有效

专利信息
申请号: 201410519346.2 申请日: 2014-09-30
公开(公告)号: CN104393097B 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 侯治锦;司俊杰;王巍;韩德宽;吕衍秋 申请(专利权)人: 中国空空导弹研究院
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 代理人: 胡泳棋
地址: 471009 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种铟柱倒焊互连的方法,本发明首先测算整个面阵中,铟柱在互连时产生的最大偏差值,将该最大偏差值叠加到铟压缩量形成新铟压缩量,以该新铟柱压缩量进行倒焊互连,使面阵全部铟柱良好互连。
搜索关键词: 一种 铟柱倒焊 互连 方法
【主权项】:
一种铟柱倒焊互连的方法,其特征在于,首先测算互连时铟柱间产生的最大偏差值,该最大偏差值为互连时,对应铟柱之间的最大距离与最小距离的差;该最大偏差值包括电路倾斜产生的最大偏差值与晶片倾斜产生的最大偏差值;将该最大偏差值叠加到设定铟压缩量形成新铟压缩量,以该新铟柱压缩量调整倒焊互连条件进行倒焊互连。
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