[发明专利]高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法有效
| 申请号： | 201410519354.7 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104237983A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 侯治锦;司俊杰;韩德宽;陈洪许;吕衍秋;王巍 | 申请（专利权）人： | 中国空空导弹研究院 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 胡泳棋 |
| 地址： | 471009 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法，将待制作的台阶阵列分为若干组，包括第一组、第二组，第一组与第二组首尾相接，每组的各台阶是深度连续的；同步制作第一组与第二组的各台阶，形成对应深度相同的两组台阶；将第二组台阶整体刻蚀一定的深度，与第一组台阶形成深度连续的台阶阵列。采用本发明的方法，分组同步制作，大大提升了制作效率，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 制作 高精度 台阶 透镜 阵列 方法 | ||
【主权项】：
高效制作高精度多台阶微透镜阵列的方法，其特征在于，在基底上等间隔制作出初始深度的台阶，然后将待制作的台阶阵列分为若干组，包括第一组、第二组，第一组与第二组首尾相接，每组的各台阶是深度连续的；同步制作第一组与第二组的各台阶，形成对应深度相同的两组台阶；将第二组台阶整体刻蚀一定的深度，与第一组台阶形成深度连续的台阶阵列。
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