[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种用于检测两个能彼此相对运动的物体的光学位置测量装置，带有量具，其与两个物体中的一个连接；以及用于扫描量具的扫描系统，其与两个物体中的另一个连接。通过扫描系统能沿着物体的横向的第一移动方向和竖直的移动方向同时确定位置。在扫描系统的侧面上构成两个扫描光路，在其中能分别从干涉的子光束在输出侧上产生相移信号组。通过扫描系统还构成至少一个第三扫描光路，通过第三扫描光路能沿着物体的横向的第二移动方向确定位置。光源的射束通过第一光导体和全部三个扫描光路共同的耦合输入光学件输送给扫描系统。在三个扫描光路中产生的干涉的子光束能通过共同的耦合输出光学件耦合输入到第二光导体中，其将光束输送给探测装置。

主权项

一种用于检测两个能彼此相对运动的物体的光学的位置测量装置，具有：量具，所述量具与两个所述物体中的一个连接；以及用于扫描所述量具的扫描系统，所述扫描系统与两个所述物体中的另一个连接，其中，通过所述扫描系统能够沿着所述物体的横向的第一移动方向和沿着竖直的移动方向同时进行位置确定，并且为此在所述扫描系统的侧面上形成两个扫描光路，在所述扫描光路中能够分别从发生干涉的子光束在输出侧上产生一组相移信号，其特征在于，通过所述扫描系统还形成至少一个第三扫描光路，通过所述第三扫描光路能够沿着所述物体的横向的第二移动方向进行位置确定，并且光源的射束通过第一光导体和用于全部三个扫描光路的共同的耦合输入光学件输送给所述扫描系统，并且在三个所述扫描光路中产生的发生干涉的所述子光束能够通过共同的耦合输出光学件耦合输入到第二光导体中，所述第二光导体输送所述光束给探测装置。