[发明专利]一种单晶炉在线掺杂装置

摘要

本发明涉及单晶生长中添加掺杂材料领域，具体涉及一种单晶炉在线掺杂装置。现有技术在直拉法生产单晶硅过程中存在的掺杂效果不佳、掺杂过程可控性差和无法实现拉伸过程中实时掺杂的问题，本发明提出了一种以机为主、机电结合的单晶炉在线掺杂装置，增加了掺杂元素与熔硅的接触时间，实现了实时掺杂，并且掺杂过程中主要技术参数可控。本发明设计简洁紧凑，易于实施，能耗成本较低，适用于多种晶体掺杂处理领域，具有广阔的应用和推广前景。

主权项

一种单晶炉在线掺杂装置，其特征在于其包括料仓机构、输送机构和控制机构；所述料仓机构与输送机构相连，所述控制机构与料仓机构和输送机构相连并控制料仓机构和输送机构的工作；所述输送机构安装在单晶炉炉盖（19）上并通过单晶炉炉盖（19）上的安装座孔与单晶炉（20）内部连通；所述料仓机构包括中空的料仓外壳（1）、料仓门（2）、料仓密封机构（3）、料仓（4）、U型出料管（6）、集料漏斗（7）、料仓电机（5）和落料减速管（13）；所述料仓外壳（1）内部设置有能够自由转动的料仓（4）和与料仓（4）连通的U型出料管（6），所述料仓外壳（1）的下部设置有与落料减速管（13）相连通的集料漏斗（7）；所述料仓门（2）与料仓外壳（1）连接并能够自由开合；所述密封料仓外壳（1）上设置有料仓密封机构（3），所述料仓密封机构（3）与料仓门（2）相适配；所述料仓电机（5）设置在料仓外壳（1）上并带动料仓（4）转动；所述输送机构包括输送机构外壳（14）、设有出气孔的石英输料管（9）、设置在石英输料管（9）上的止回阀（10）、卷扬机（17）和与卷扬机（17）相连的输送减速机（16）以及电机；所述输送机构外壳（14）的上部设置有卷扬机（17），所述输送机构外壳（14）的侧壁上设置有用于安装落料减速管（13）的开口；所述卷扬机（17）与石英输料管（9）相连；所述输送减速机（16）设置在输送机构外壳（14）上并带动卷扬机（17）转动；所述控制机构包括显示屏、信号输入装置、开关装置和控制模块，电能通过所述开关装置加载到控制模块、显示屏和信号输入装置上，所述信号输入装置和控制模块分别与显示屏连接，输入信号通过信号输入装置传输至控制模块上，所述控制模块响应输入信号并发出控制信号，所述料仓电机和输送减速机接收并执行控制信号。