[发明专利]用于退火装置的样品座与使用样品座的电流辅助退火装置

摘要

本发明公开一种用于退火装置的样品座与使用样品座的电流辅助退火装置。所述样品座包括导热壳、高导热绝缘块以及第一电极与第二电极。导热壳包括底座与顶盖，所述高导热绝缘块分别邻接于所述底座上方与所述顶盖下方，所述高导热绝缘块之间可夹持待测量的试片，所述试片的长宽小于所述高导热绝缘块的长宽。所述第一电极与所述第二电极固定于所述试片两侧，与其连接，并分别与通电用导线连接，所述第一电极与所述第二电极的厚度小于所述试片的厚度，宽度大于所述试片的宽度。

主权项

1.一种用于退火装置的样品座，包括：导热壳，包括底座与顶盖；多数个高导热绝缘块，分别邻接于该底座上方与该顶盖下方，该些高导热绝缘块之间用以夹持待测量的试片；以及第一电极与第二电极，在该些高导热绝缘块之间相对设置，且分别固定于该试片的两侧并与该试片接触，其中该第一电极与该第二电极的厚度小于该试片的厚度，该第一电极与该第二电极的宽度大于该试片的宽度，以使该试片与该些高导热绝缘块完全并紧密地接触。