[发明专利]微机械谐振器的振动控制方法及微机械谐振器有效
| 申请号： | 201410528195.7 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104333344B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郭梅寒 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械谐振器的振动控制方法及微机械谐振器，包括：衬底，以及设置于衬底上的振动结构和驱动结构；其中，驱动结构用于驱动微机械谐振器的振动结构往复运动，并在振动结构往复运动的同时，生成作用在振动结构上、且促进振动结构的往复运动的促进静电力，以及生成作用在振动结构上、且制约振动结构的往复运动的制约静电力，以使得振动结构在往复运动中由静电弹簧软化效应产生的频率偏移和由静电弹簧硬化效应产生的频率偏移之间相互抵消，进而控制微机械谐振器工作在其固有频率，提高了微机械谐振器工作时的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振器 振动 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械谐振器的振动控制方法，其特征在于，包括：对所述微机械谐振器上电，驱动所述微机械谐振器的振动结构往复运动；且在所述振动结构往复运动的同时，生成作用在所述振动结构上、且促进所述振动结构的往复运动的促进静电力，以及生成作用在所述振动结构上、且制约所述振动结构的往复运动的制约静电力，以使得所述振动结构在往复运动中由静电弹簧软化效应产生的频率偏移和由静电弹簧硬化效应产生的频率偏移之间相互抵消；所述促进所述振动结构的往复运动的促进静电力为：通过一个电容电极生成的、且沿所述振动结构运动方向或沿与所述振动结构运动方向相交于第一预设角度的方向上的静电力；或者，通过多个电容电极生成的、且均沿所述振动结构运动方向或均沿与所述振动结构运动方向相交于各自的第二预设角度的方向上的多个子静电力的合力；以及，所述制约所述振动结构的往复运动的制约静电力为：通过一个电容电极生成的、且沿与所述振动结构运动方向相交于第三预设角度的方向上的静电力；或者，通过多个电容电极生成的、且均沿与所述振动结构运动方向相交在各自的第四预设角度的方向上的多个子静电力的合力。
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