[发明专利]扫描式微波反射法载流子复合寿命测试系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种扫描式微波反射法载流子复合寿命测试系统及测试方法，该测试系统包括脉冲激光系统、微波系统、数据采集系统、扫描运动系统、运动控制系统，测试控制系统和探头，扫描运动系统用于将探头进行三维定位，运动控制系统分别与扫描运动系统、测试控制系统相连，用于根据测试控制系统指令驱动扫描运动系统动作；脉冲激光系统、微波系统均设置在探头内，微波系统与数据采集系统相连，数据采集系统和测试控制系统相连。脉冲激光系统产生脉冲式的红外激光，穿过微波系统中微带天线的中间开孔垂直照射在样品台上的被测样品表面。本发明可对大面积的半导体晶体材料进行载流子寿命分布情况的扫描式测量，且结构更加紧凑，探头体积小。

主权项

扫描式微波反射法载流子复合寿命测试系统，其特征在于，包括脉冲激光系统、微波系统、数据采集系统、扫描运动系统、运动控制系统、测试控制系统和探头，所述扫描运动系统包括X轴运动机构、Y轴运动机构、Z轴运动机构，样品台设置在Y轴运动机构上，Z轴运动机构固定在Y轴运动机构的一侧，X轴运动机构通过探头支架设置在Z轴运动机构上，探头设置在X轴运动机构上，探头位于样品台的上方；所述运动控制系统分别与扫描运动系统、测试控制系统相连，用于根据测试控制系统指令驱动扫描运动系统动作；脉冲激光系统、微波系统均设置在探头内，微波系统与数据采集系统相连，数据采集系统和测试控制系统相连；所述脉冲激光系统产生脉冲式的红外激光，穿过微波系统中微带天线的中间开孔垂直照射在样品台上的被测样品表面；所述X轴运动机构、Y轴运动机构、Z轴运动机构均分别包括一台直流无刷伺服电机和一个滚珠丝杠导轨，每个直流无刷伺服电机均分别与运动控制系统相连；所述样品台上设有吸附孔，该吸附孔下方与真空负压泵连接；测试控制系统将测量结果以分布图形式输出；所述运动控制系统包括运动控制器和3台伺服驱动器，每台伺服驱动器分别与一个直流无刷伺服电机相连，运动控制器与测试控制系统相连，用于根据测试控制系统的运动指令输出脉冲数、方向、速度信息给伺服驱动器，伺服驱动器驱动对应直流无刷伺服电机运动；在每个所述直流无刷伺服电机处都设有脉冲编码器，该脉冲编码器与运动控制器连接。