[发明专利]一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺

摘要

本发明公开了一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，该工艺包括籽晶重量、提拉高度、旋转速度以及籽晶温度4个工艺参数；所述的自动引晶工艺用提拉高度、旋转速度实现引晶动作，采用籽晶重量和籽晶温度作为引晶动作实施的判断依据，保证了引晶动作与晶体生长过程的一致。本发明通过基于籽晶重量和籽晶温度控制的自动引晶技术，将依赖于人眼控制的低可靠性的传统引晶方式提升为适用于大规模生产的高可靠性自动引晶方式，将有效的提高蓝宝石引晶的成功率，从而提高晶体的成品率，尤其适用于蓝宝石晶体的规模化生产。

主权项

一种高可靠性泡生法蓝宝石晶体生长的自动引晶工艺，包括籽晶重量、籽晶温度、提拉高度和旋转速度4个工艺参数，其特征在于：所述的自动引晶工艺包括实现引晶过程的引晶动作和判断晶体生长状态的判断算法，所述的提拉高度和旋转速度是所述的引晶动作的实现参数，所述的籽晶重量和籽晶温度是所述的判断算法的判断参数，所述的籽晶温度通过籽晶的冷却出水与冷却进水的温度差来测量。