[发明专利]一种新型微型惯性测量单元组合

摘要

本发明公开了一种新型微型惯性测量单元组合，包括基座，所述基座上焊接有两个梳齿式结构的加速度计(敏感轴在芯片平面内)、一个单支点扭摆式结构的加速度计(敏感轴垂直于芯片平面)、两个单支点角振动结构的陀螺(敏感轴在芯片平面内)和一个线振动结构的陀螺(敏感轴垂直于芯片平面)。采用不同结构的惯性传感器来检测加速度和角速率三个方向的分量，这样可以不用过多的考虑各传感器敏感轴的位置关系，从而可以使得结构的排列更加紧凑，空间利用率达到最大化，可以采用叠层结构，结构紧凑，抗冲击能力强，适用于小型化和高过载场合。

主权项

一种新型微型惯性测量单元组合，包括基座，其特征在于，所述基座为平面型，在与基座平行的平面上焊接有两个梳齿式结构的加速度计、一个单支点扭摆式结构的加速度计、两个单支点角振动结构的陀螺和一个线振动结构的陀螺，所述单支点扭摆式结构的加速度计的下电极采用差分电容进行检测，所述线振动结构的陀螺用于检测由于x轴方向的运动引起的电容变化间接得到z轴角速度；一个梳齿式结构的加速度计和一个单支点角振动结构的陀螺的敏感轴沿x轴方向，用于检测x轴方向的加速度和角速度，另一个梳齿式结构的加速度计和另一个单支点角振动结构的陀螺的敏感轴沿y轴方向，用于检测y轴方向的加速度和角速度，所述单支点扭摆式结构的加速度计和线振动结构的陀螺的敏感轴沿z轴方向，用于检测z轴方向的加速度和角速度。