[发明专利]全自动晶圆激光打标机及方法有效
| 申请号： | 201410537962.0 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN104385786B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 龚传波 | 申请（专利权）人： | 龚传波 |
| 主分类号： | B41J2/435 | 分类号： | B41J2/435;B41J29/38 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210038 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动晶圆激光打标机及方法，包括机械手系统，用于取放和移送晶圆，并向CCD系统发送晶圆到位信号；CCD系统，用于接收晶圆到位信号，扫描和处理晶圆实时图像信息，其包括CCD定位系统，用于检测晶圆的位置偏差并向激光打标系统传递偏差信号；激光打标系统，用于根据CCD定位系统的偏差信号调整激光光束进行打标。本发明无需复杂的机械结构即可实现晶圆的精确打标，结构简单、操作便捷、成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 激光 打标机 方法 | ||
【主权项】：
一种全自动晶圆激光打标机，其特征在于，包括：机械手系统，用于取放和移送晶圆，并向CCD系统发送晶圆到位信号；CCD系统，用于接收晶圆到位信号，扫描和处理晶圆实时图像信息，其包括CCD定位系统，用于检测晶圆的位置偏差并向激光打标系统传递偏差信号；激光打标系统，用于根据CCD定位系统的偏差信号调整激光光束进行打标；所述CCD系统还包括CCD识别系统，用于识别晶圆的正反面和判断晶圆的正反面信息与所需打标面信息是否一致。
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