[发明专利]射频反射式扫描穿隧显微镜

摘要

一种射频反射式扫描穿隧显微镜，具有一个与一个待测样品间隔且相对设置的探针，用于扫描该待测样品的表面样貌，并包含：一个射频扫描共振电路，其包括一个电感以及与电感的一端并联的一个电容、一个电阻及一个穿隧电阻，其中该穿隧电阻形成于待测样品与探针间，一个与该电感的另一端电耦接的方向耦合器，一个产生一个射频信号并经由该方向耦合器输出至该射频扫描共振电路的射频信号源，以及一个射频信号测量系统，其接收该射频扫描共振电路经由该方向耦合器传来的一个射频反射信号，以根据该射频反射信号反馈控制该探针，并产生一个与该待测样品的表面样貌有关的扫描结果。

主权项

1.一种射频反射式扫描穿隧显微镜，具有一个与一个待测样品间隔且相对设置的探针，用于扫描该待测样品的表面样貌，其特征在于：并包含：一个射频扫描共振电路，包括具有一个第一端及一第二端的一电感，以及与该电感的该第一端并联的一个电容、一个与该电感的该第二端并联的辅助电容、一个电阻及一个穿隧电阻，其中该穿隧电阻形成于该待测样品与该探针间；一个方向耦合器，与该射频扫描共振电路的该电感的该第二端电耦接，且接收一个射频信号，并将该射频信号输出至该射频扫描共振电路，且接收一个经由该射频扫描共振电路反射传回的一个射频反射信号；及一个射频信号测量系统，电连接该方向耦合器以接收该射频反射信号，并根据该射频反射信号反馈控制该探针，以产生一个与该待测样品的表面样貌有关的扫描结果。